PPS-60 是一款高精度、长行程的线性平台。压电电机、直线电机或步进电机驱动器可提供相同的平台。滚珠轴承可确保高达 150 N 负载的高刚度和导向精度。PPS-60 配备线性编码器,以提高分辨率和可重复性。PPS-60 平台无需任何适配器即可安装在 XY 中,并且可以使用标准安装支架添加 Z 轴。
PPS-60 是一款高精度、长行程的线性平台。压电电机、直线电机或步进电机驱动器可提供相同的平台。滚珠轴承可确保高达 150 N 负载的高刚度和导向精度。PPS-60 配备线性编码器,以提高分辨率和可重复性。PPS-60 平台无需任何适配器即可安装在 XY 中,并且可以使用标准安装支架添加 Z 轴。
行程范围 | 25 毫米 | 50 毫米 | 100 毫米 | 200 毫米 | 300 毫米 |
直线度、平面度 (µm) | ± 2.5 | ± 4.0 | ± 6.0 | ± 8.0 | ± 10.0 |
俯仰 (µrad) | ± 50 | ± 75 | ± 100 | ± 125 | ± 150 |
偏摆 (µrad) | ± 50 | ± 75 | ± 100 | ± 125 | ± 150 |
重量(克) | 400 | 450 | 575 | 785 | 985 |
限位开关 | 无,机械 |
电机类型 | 直线电机 |
最大速度(毫米/秒) | 100 |
编码器选项 | 模拟 (1 Vpp) | 数字 (RS-422) |
典型分辨率 (nm) | 10 | 10 |
重复性,双向 (nm) | ± 100 | ± 100 |
重复性,单向 (nm) | 100 | 100 |
方向 | Fx (N) | Fy (N) | Fz (N) | Mx (N·m) | My (N·m) | Mz (N·m) | kax(µrad/N·m) | kay (µrad/N·m) |
最大负载 | 5 峰 | 100 | 50 | 10 | 10 | 10 | 100 | 100 |
环境选项 | 大气的 | 高真空 10 -6 mbar |
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