Shanggu Precise control (Tianjin) Technology Co., Ltd
尚古精控（天津）科技有限公司
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IPRODUCT / 经营项目
XYR三轴紧凑型精密位移台

XYR三轴紧凑型精密位移台

带有直线电机和直接扭矩电机的 XY 旋转台设计为薄型，用于晶圆处理和半导体制造行业中的许多其他自动精确定位应用。 XY驱动线性电机驱动提供亚μm XY 定位和直接驱动旋转台确保亚arc-sec性能

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带有直线电机和直接扭矩电机的 XY 旋转台设计为薄型，用于晶圆处理和半导体制造行业中的许多其他自动精确定位应用。 XY驱动线性电机驱动提供亚μm XY 定位和直接驱动旋转台确保亚arc-sec性能

参数单位XY-65-10x10-AUT-ACR-65AUT
XY轴使用的位移台型号
XY-65-10x10-AUT
旋转轴使用的位移台型号
ACR-65UT
电机类型
XY直线伺服电机
旋转台直力矩电机
XY行程mm x mm10x10
角度旋转°50 
分辨率（线性）μm0.5
分辨率（旋转）arc-sec0.6
重复定位精度（线性）μm1
重复定位精度（旋转）arc-sec1
速度mm/s200
负载重量kg2
平台重量kg44