Shanggu Precise control (Tianjin) Technology Co., Ltd
尚古精控(天津)科技有限公司
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IPRODUCT / 经营项目
两轴真空电动平移台

两轴真空电动平移台

※ 产品结构小巧轻薄,适合轻载,低速使用,科学试验使用;

※ 高品质精磨丝杠驱动,小导程,相同细分数可达到更高的分辨率;

※ 巧妙的消空回螺母结构设计,可使研磨丝杠副的间隙降到最小;

※ 导轨采用交叉滚柱导轨,运动舒适,有侧向调整导轨预紧力和消间隙之功能,可多维组合使用;

※ 两端装有零位和限位开关,方便准确定位和保护产品;

※ 可加装真空光栅尺,接受产品的改制和量身定制;


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※ 产品结构小巧轻薄,适合轻载,低速使用,科学试验使用;

※ 高品质精磨丝杠驱动,小导程,相同细分数可达到更高的分辨率;

※ 巧妙的消空回螺母结构设计,可使研磨丝杠副的间隙降到最小;

※ 导轨采用交叉滚柱导轨,运动舒适,有侧向调整导轨预紧力和消间隙之功能,可多维组合使用;

※ 两端装有零位和限位开关,方便准确定位和保护产品;

※ 可加装真空光栅尺,接受产品的改制和量身定制;


参数说明组合方式X、Y
行程50mm
设计分辨率0.125μm
运动平行度<5μm
俯仰10″(50μrad)
重复定位精度<±2.5μm
运动直线度<±3μm
偏摆10″(50μrad)
最高速度5mm/sec
负载0-15kg
自重3kg
真空度10-3pa—10-5pa
电机真空步进电机
真空温度常温
润滑脂真空润滑油脂