Shanggu Precise control (Tianjin) Technology Co., Ltd
尚古精控(天津)科技有限公司
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IPRODUCT / 经营项目
单轴精巧真空位移台

单轴精巧真空位移台

※ 平移台采用进口精密滚珠螺杆驱动,重复定位精度和绝对定位精度好,轴向间隙小,寿命长;

※ 导轨采用高精度精密线性滑块导轨,运动舒适,承载大,适合单轴或多轴组合使用;

※ 精磨电移台底板和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆,使运动的直线度和平行度有较大提高;

※ 真空步进电机和丝杆通过高品质弹性联轴节连接,传动同步,消偏性能好,大大降低了偏心扰动且噪音小。


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※ 平移台采用进口精密滚珠螺杆驱动,重复定位精度和绝对定位精度好,轴向间隙小,寿命长;

※ 导轨采用高精度精密线性滑块导轨,运动舒适,承载大,适合单轴或多轴组合使用;

※ 精磨电移台底板和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆,使运动的直线度和平行度有较大提高;

※ 真空步进电机和丝杆通过高品质弹性联轴节连接,传动同步,消偏性能好,大大降低了偏心扰动且噪音小。


真空度:10-4pa(低于此真空度皆可使用)
负载台面尺寸65*65mm
行程25mm
传动方式TBI丝杆;丝杆导程:1mm
导轨交叉滚珠导轨
中心负载3Kg
主要材质高强度航空铝材(7075)
表面处理真空使用不氧化外观;二次精磨
最大速度10mm/sec
XY轴重复定位精度≤3μm
表面跳动≤15μm
电机类型35真空步进电机;
电机线聚醚乙胺线
电源电压24V±10%
限位开关光电开关