PPS-110 是一款高精度、高负载、长行程的线性平台。它可用于压电电机、直线电机或滚珠丝杠驱动器。循环滚珠轴承可在高达 25 kg 的负载下实现平稳运动和高导向精度。使用高精度数字编码器可实现 2 nm 的闭环编码器分辨率。
PPS-110 是一款高精度、高负载、长行程的线性平台。它可用于压电电机、直线电机或滚珠丝杠驱动器。循环滚珠轴承可在高达 25 kg 的负载下实现平稳运动和高导向精度。使用高精度数字编码器可实现 2 nm 的闭环编码器分辨率。
行程范围 | 100 毫米 | 200 毫米 | 300 毫米 | 500 毫米 | 1000 毫米 |
直线度、平面度 (µm) | ± 3.0 | ± 4.0 | ± 5.0 | ± 10.0 | ± 15.0 |
俯仰 (µrad) | ± 75 | ± 100 | ± 125 | ± 200 | ± 300 |
偏摆 (µrad) | ± 75 | ± 85 | ± 100 | ± 200 | ± 300 |
重量 (g),开环 | 1610 | 2015 | 2510 | 3360 | 5200 |
重量 (g),闭环 | 1660 | 2065 | 2560 | 3410 | 5265 |
限位开关 | 无,机械 |
电机类型 | 压电马达 |
最大速度(毫米/秒) | 5 (MMC-110) |
编码器选项 | 无(开环) | 数字 (RS-422) |
典型分辨率 (nm) | 1 | 2 |
重复性,双向 (nm) | 不适用 | ± 100 |
重复性,单向 (nm) | 不适用 | 100 |
方向 | Fx (N) | Fy (N) | Fz (N) | Mx (N·m) | My (N·m) | Mz (N·m) | kax(µrad/N·m) | kay(µrad/N·m) |
最大负载 | 5 | 150 | 250 | 60 | 30 | 35 | 50 | 50 |
环境选项 | 大气的 | 高真空 10 -6 mbar | 超高真空 10 -9 mbar |
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