IPRODUCT / 经营项目
精密压电定位器 PPS-60
PPS-60 是一款高精度、长行程的线性平台。压电电机、直线电机或步进电机驱动器可提供相同的平台。滚珠轴承可确保负载高达 150 N 的高刚度和导向精度。PPS-60 配备可选的线性编码器，以提高分辨率和可重复性。PPS-60 平台无需任何适配器即可安装在 XY 中，并且可以使用标准安装支架添加 Z 轴。
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PPS-60 是一款高精度、长行程的线性平台。压电电机、直线电机或步进电机驱动器可提供相同的平台。滚珠轴承可确保负载高达 150 N 的高刚度和导向精度。PPS-60 配备可选的线性编码器，以提高分辨率和可重复性。PPS-60 平台无需任何适配器即可安装在 XY 中，并且可以使用标准安装支架添加 Z 轴。
产品亮点
行程范围：
25 毫米 - 300 毫米（可根据要求提供更长的行程）
编码器分辨率：
2 纳米（闭环）
重复性，双向：
± 100 纳米
重复性，单向：
100 纳米
最大速度：
5 毫米/秒 (MMC-110)
最大负载：
15 公斤
编码器选项：
模拟或数字
轴承类型：
球轴承
规格
主要参数
| 行程范围 | 25 毫米 | 50 毫米 | 100 毫米 | 200 毫米 | 300 毫米 |
| 直线度、平面度 (µm) | ± 2.5 | ± 4 | ± 6 | ± 8 | ± 10 |
| 俯仰 (µrad) | ± 50 | ± 75 | ± 100 | ± 125 | ± 150 |
| 偏摆 (µrad) | ± 50 | ± 75 | ± 100 | ± 125 | ± 150 |
| 重量 (g)，开环 | 335 | 380 | 480 | 660 | 850 |
| 重量 (g)，闭环 | 345 | 390 | 490 | 670 | 860 |
| 限位开关 | 无，机械 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
电机兼容性
| 电机类型 | 压电马达 |
| 最大速度（毫米/秒） | 2 个（MMC-100）、5 个（MMC-110） |
电机/反馈相关规格
| 编码器选项 | 无（开环） | 模拟 (1 Vpp) | 数字 (RS-422) | |
| 典型分辨率 (nm) | 1 | 10 | 2 | 500 |
| 重复性，双向 (nm) | 不适用 | ± 500 | ± 100 | ± 1000 |
| 重复性，单向 (nm) | 不适用 | 500 | 100 | 1000 |
负载特性
| 方向 | Fx (N) | Fy (N) | Fz (N) | Mx (N·m) | My (N·m) | Mz (N·m) | kax(µrad/N·m) | kay(µrad/N·m) |
| 最大负载 | 5 | 100 | 150 | 10 | 10 | 10 | 100 | 100 |
运行条件
| 环境选项 | 大气的 | 高真空 10 -6 mbar | 超高真空 10 -9 mbar |
产品配置
PPS-60-11000
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-11006
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-11009
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-11010
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-11016
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-11019
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-11200
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-11206
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-11209
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-11210
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-11216
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-11219
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-11300
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-11306
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-11309
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-11310
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-11316
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-11319
电机类型
压电电机
压电电机
行程
25 毫米
25 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-12000
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-12006
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-12009
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-12010
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-12016
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-12019
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-12206
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-12209
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-12210
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-12216
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-12219
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-12300
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-12306
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-12309
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-12310
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-12316
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-12319
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
50 毫米
50 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-13000
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-13006
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-13009
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-13010
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-13016
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-13019
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-13200
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-13206
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-13209
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-13210
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-13216
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-13219
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-13300
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-13306
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-13309
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-13310
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-13316
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-13319
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
100 毫米
100 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-14000
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-14006
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-14009
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-14010
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-14016
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-14019
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-14200
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-14206
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-14209
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-14210
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-14216
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-14219
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-14300
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-14306
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-14309
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-14310
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-14316
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-14319
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
200 毫米
200 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-15000
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-15006
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-15009
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-15010
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-15016
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-15019
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
无（开环）
无（开环）
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-15200
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-15206
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-15209
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-15210
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-15216
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-15219
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
模拟 (1 Vpp)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-15300
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
大气
大气
PPS-60-15306
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-15309
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
无
无
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
PPS-60-15310
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
大气
大气
PPS-60-15316
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
高真空 10 -6 mbar
高真空 10 -6 mbar
PPS-60-15319
电机类型
压电电机
压电电机
行程范围
300 毫米
300 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
数字 (RS-422)
限位开关
机械
机械
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
超高真空 10 -9 mbar
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