PPS-28 是一款高精度、长行程线性压电平台。微型交叉滚子轴承确保高达 50 N(水平方向)负载的高刚度和导向精度。它采用正在申请专利的多相压电电机,可实现高速 (> 2 mm/s) 和高驱动力 (> 2 N)。PPS-28 可用于开环或带有外部编码器。可实现 2 nm 的闭环编码器分辨率。提供能够在真空 (10 -9 mbar) 下运行的版本。PPS-28 与MMC-100和MMC-110控制器兼容。
PPS-28 是一款高精度、长行程线性压电平台。微型交叉滚子轴承确保高达 50 N(水平方向)负载的高刚度和导向精度。它采用正在申请专利的多相压电电机,可实现高速 (> 2 mm/s) 和高驱动力 (> 2 N)。PPS-28 可用于开环或带有外部编码器。可实现 2 nm 的闭环编码器分辨率。提供能够在真空 (10 -9 mbar) 下运行的版本。PPS-28 与MMC-100和MMC-110控制器兼容。
行程范围 | 26 毫米 | 51 毫米 | 76 毫米 | 102 毫米 |
直线度、平面度 (µm) | ± 1.5 | ± 2.5 | ± 3.0 | ± 3.5 |
俯仰 (µrad) | ± 50 | ± 70 | ± 80 | ± 100 |
偏摆 (µrad) | ± 60 | ± 75 | ± 90 | ± 100 |
重量 (g),开环 | 70 | 140 | 170 | 240 |
重量 (g),闭环 | 75 | 150 | 200 | 250 |
限位开关 | 无,磁性 |
电机类型 | 压电马达 |
最大速度(毫米/秒) | 2 个(MMC-100)、10 个(MMC-110) |
编码器选项 | 无(开环) | 模拟 (1 Vpp) | 数字 (RS-422) |
典型分辨率 (nm) | 1 | 10 | 2 |
重复性,双向 (nm) | 不适用 | ± 50 | ± 50 |
重复性,单向 (nm) | 不适用 | 50 | 50 |
方向 | Fx (N) | Fy (N) | Fz (N) | Mx (N·m) | My (N·m) | Mz (N·m) |
最大负载 | 2 | 50 | 50 | 1 | 1 | 1 |
环境选项 | 大气的 | 高真空 10 -6 mbar | 超高真空 10 -9 mbar |
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