PPS-20 是一款高精度、长行程的线性压电平台。微型交叉滚子轴承确保高达 20 N(水平方向)负载的高刚度和导向精度。它采用正在申请专利的多相压电电机,可实现高速 (> 2 mm/s) 和高阻塞力 (> 2 N)。PPS-20 可用于开环或带有外部编码器。可实现 2 nm 的闭环编码器分辨率。有能够在真空 (10 -9 mbar) 和/或低温 (77 K) 中运行的版本。PPS-20 与MMC-100和MMC-110控制器兼容。
PPS-20 是一款高精度、长行程的线性压电平台。微型交叉滚子轴承确保高达 20 N(水平方向)负载的高刚度和导向精度。它采用正在申请专利的多相压电电机,可实现高速 (> 2 mm/s) 和高阻塞力 (> 2 N)。PPS-20 可用于开环或带有外部编码器。可实现 2 nm 的闭环编码器分辨率。有能够在真空 (10 -9 mbar) 和/或低温 (77 K) 中运行的版本。PPS-20 与MMC-100和MMC-110控制器兼容。
行程范围 | 12 毫米 | 18 毫米 | 26 毫米 | 51 毫米 |
直线度、平面度 (µm) | ± 1 | ± 1.5 | ± 1.5 | ± 2.5 |
俯仰 (µrad) | ± 60 | ± 80 | ± 80 | ± 100 |
偏摆 (µrad) | ± 70 | ± 90 | ± 90 | ± 100 |
重量 (g),开环 | 22 | 28 | 36 | 70 |
重量 (g),闭环 | 25 | 35 | 42 | 78 |
限位开关 | 无,磁性 |
电机类型 | 压电马达 |
最大速度(毫米/秒) | 2 个(MMC-100)、10 个(MMC-110) |
编码器选项 | 无(开环) | 模拟 (1 Vpp) | 数字 (RS-422) |
典型分辨率 (nm) | 1 | 10 | 2 |
重复性,双向 (nm) | 不适用 | ± 50 | ± 50 |
重复性,单向 (nm) | 不适用 | 50 | 50 |
方向 | Fx (N) | Fy (N) | Fz (N) | Mx (N·m) | My (N·m) | Mz (N·m) |
最大负载 | 2 | 20 | 20 | 0.7 | 0.7 | 0.7 |
环境选项 | 大气的 | 高真空 10 -6 mbar | 超高真空 10 -9 mbar |
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