Shanggu Precise control (Tianjin) Technology Co., Ltd
尚古精控（天津）科技有限公司
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IPRODUCT / 经营项目
升降台 ES-50PM

升降台 ES-50PM

ES-50PM 压电升降台专为空间条件有限的应用而设计。ES-50PM 平台由获得专利的多相压电电机驱动。交叉滚子轴承确保平稳运动和高刚度。当与PPS-60、VT-50和PPX-50系列线性平台结合使用时，ES-50PM 可实现高刚性 XZ 或 XYZ 设置，无需适配器支架。可提供能够在真空 (10 -9  mbar) 中运行的版本。ES-50PM 与MMC-100 和MMC-110控制器兼容。

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ES-50PM 压电升降台专为空间条件有限的应用而设计。ES-50PM 平台由获得专利的多相压电电机驱动。交叉滚子轴承确保平稳运动和高刚度。当与PPS-60、VT-50和PPX-50系列线性平台结合使用时，ES-50PM 可实现高刚性 XZ 或 XYZ 设置，无需适配器支架。可提供能够在真空 (10 -9  mbar) 中运行的版本。ES-50PM 与MMC-100 和MMC-110控制器兼容。

产品亮点

  • 行程范围：
    10 毫米
  • 编码器分辨率：
    2 纳米（闭环）
  • 重复性，双向：
    ± 50 纳米
  • 重复性，单向：
    50 纳米
  • 最大速度：
    > 5 毫米/秒 (MMC-110)
  • 最大负载：
    1公斤（带恒力弹簧）
  • 编码器选项：
    模拟或数字
  • 轴承类型：
    交叉滚子轴承

规格

主要参数


行程范围10 毫米
直线度、平面度 (µm)± 4
俯仰 (µrad)± 300
偏摆 (µrad)± 300
重量 (g)，开环160
重量 (g)，闭环165
限位开关无
电机兼容性
电机类型压电马达
最大速度（毫米/秒）> 1 (MMC-100), > 5 (MMC-110)
电机/反馈相关规格
编码器选项无（开环）模拟 (1 Vpp)数字 (RS-422)
典型分辨率 (nm)1102
重复性，双向 (nm)不适用± 50± 50
重复性，单向 (nm)不适用5050
负载特性
方向 Fx (N)Fy (N)Fz (N)Mx (N·m)My (N·m)Mz (N·m)
最大负载5510111
运行条件
环境选项大气的高真空 10 -6 mbar超高真空 10 -9 mbar
产品配置电机类型
压电电机
行程范围
10 毫米
编码器选项
无（开环）
环境选项
大气
ES-50PM-11006
电机类型
压电电机
行程范围
10 毫米
编码器选项
无（开环）
环境选项
高真空 10 -6 mbar
ES-50PM-11009
电机类型
压电电机
行程范围
10 毫米
编码器选项
无（开环）
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
ES-50PM-11200
电机类型
压电电机
行程范围
10 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
环境选项
大气
ES-50PM-11206
电机类型
压电电机
行程范围
10 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
环境选项
高真空 10 -6 mbar
ES-50PM-11209
电机类型
压电电机
行程范围
10 毫米
编码器选项
模拟 (1 Vpp)
环境选项
超高真空 10 -9 mbar
ES-50PM-11300
电机类型
压电电机
行程范围
10 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
环境选项
大气
ES-50PM-11306
电机类型
压电电机
行程范围
10 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
环境选项
高真空 10 -6 mbar
ES-50PM-11309
电机类型
压电电机
行程范围
10 毫米
编码器选项
数字 (RS-422)
环境选项
超高真空 10 -9 mbar