PBA XY Theta 通光孔径高精度平台在紧凑、低调的封装中提供大通光孔径、高动态和卓越的几何性能。

PBA XY Theta 通光孔径高精度载物台可应用于从需要高动态和微米级直线度的双面晶圆加工，到由 DX B、ARC 无铁芯电机提供高精度和精确的几何性能是必要的。