• 直驱技术

• 紧凑和低调

• 低运动质量，快速响应

• 交叉滚子轴承具有出色的精度和刚性

• 堆叠配置

PAS 系列对准平台是一种薄型 X 运动紧凑型微型平台。
非常适合精度、可重复性和低速度/力波动至关重要的闭环短行程定位应用。
PBA PAS 平台由 PBA 直接驱动电机提供动力，内置精密交叉滚柱导轨，提供高刚性以补充 PAS 模块的高加速能力，具有极低的电气/机械时间常数和零滞后。PBA PAS Stage搭配高分辨率线性编码器，确保无背隙的高精度定位运行。最适用于半导体和液晶相关制造设备等利用图像处理的对准处理，以及需要清洁环境的测量设备和检查仪器的定位机构。
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• 直驱技术

• 紧凑和低调

• 交叉滚子轴承具有出色的精度和刚性

• 零齿槽效应、零背隙和零滞后

• 低运动质量，快速响应

• 集成高精度线性编码器

• 卓越的可靠性

• 堆叠配置

合适的应用

• 对齐过程

• 检查

• 取放

• 点胶

• 印刷

• 激光打标