描述

该显微镜载物台利用交叉滚柱导轨和带消隙螺母的精密磨削丝杠，可提供出色的平面度、直线度和线性定位精度。它采用Dover XYR™ 系列中的三件式结构，将正交加工到中心部分并提供极低的外形。

由于 XYMR™ 载物台主体只有 1.2 英寸，具有 3 英寸的大通光孔径，因此它可以与紧密间隔的高数值孔径物镜和聚光镜一起使用。它也可提供坚固的顶部。用于两个轴的螺钉锁定 d-subminiature 15 连接器安装在同一部分以简化布线。请注意，由于两个电机都安装在中间部分，因此它们都与下轴一起沿一个方向移动。

应用

XYMR 显微镜载物台应用包括晶圆、掩模和芯片检测、细胞计数和分析以及视频轮廓测量。

设计特点

用于透射应用的 3 英寸直径通光孔径

超薄截面

精密交叉滚子导轨

规格