Shanggu Precise control (Tianjin) Technology Co., Ltd
尚古精控（天津）科技有限公司
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超精密六维运动系统(晶格比较器)

超精密六维运动系统(晶格比较器)

注：此设备适用于精准调节，调平，对光、定位等多维度运动场所，水冷保温箱能提供一个相对恒温的环境，用于减少或降低温度对于测量的影响。应用领域：射线对准，高能物理等。

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注：此设备适用于精准调节，调平，对光、定位等多维度运动场所，水冷保温箱能提供一个相对恒温的环境，用于减少或降低温度对于测量的影响。应用领域：射线对准，高能物理等。

参数指标
运动维度6
Z运动行程200mm
Z运动重复定位精度<=0.05mm
X运动行程200mm
X运动绝对定位精度<=0.01mm
X轴旋转行程（粗调）360°
X旋转绝对定位精度（粗调）<=36″
X轴旋转行程（精调）150″
X轴旋绝对转定位精度（粗调）<=1″
Z轴旋转行程360°
Z轴旋转重复定位精度<=36″
Y轴旋转行程±15°
Y轴旋转重复定位精度<=36″
水冷保温箱内部尺寸270x270x150
柔性驱动装置Pi：压电陶瓷驱动器
编码器厂商海德汉
主要运动结构材质7075（铝）
升降平台材质铸铁
稳定平台材质大理石
总重2600kg