Shanggu Precise control (Tianjin) Technology Co., Ltd
尚古精控(天津)科技有限公司
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IPRODUCT / 经营项目
4圆衍射仪 424-512.51

4圆衍射仪 424-512.51

这款 4 圆衍射仪由组件 424 和 512.51 组成,提供了从残余应力和纹理测量到薄膜分析和晶圆研究的各种可能的应用。

集成在 Phi 圆中的是 XYZ 调整(150 毫米 x 150 毫米 x 25 毫米)。电源通过跳线环连接。


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这款 4 圆衍射仪由组件 424 和 512.51 组成,提供了从残余应力和纹理测量到薄膜分析和晶圆研究的各种可能的应用。

集成在 Phi 圆中的是 XYZ 调整(150 毫米 x 150 毫米 x 25 毫米)。电源通过跳线环连接。


规格 Phi-/Chi-circle:


Phi圈Chi圈
行程范围 [°]:360360
分辨率 [°]:0.001* / 0.002* **0.001*
准确性 ['']:3030
重复性(unidir.)['']:<= 2<= 3
反转误差 ['']:<= 10<= 15
传动比:360:1 / 180:1**360:1

* 带步进电机,1000 步/转

** 使用转台 410A

规格 2-Theta/Omega:


2-θ欧米茄
分辨率 [°]:0.0010.001*
准确性 ['']:<= 30<= 30
重复性(unidir.)['']:<= 2<= 2
反转误差 ['']:<= 7<= 7
传动比:360:1360:1
偏心率 [µm]:<= 3<= 3
摆动 ['']:<= 4<= 4

* 带步进电机,1000 步/转

规格 X/Y:


X
分辨率[毫米]:0.002*0.002*
精度 [µm]:+/- 50+/- 50
重复性 (unidir.) [µm]:+/- 5+/- 5
反转误差 [µm]:55
主轴 [mm/rev]:22

* 带步进电机,1000 步/转

规格系统:

confusion 范围 [mm]:<= 0.03
重量 [公斤]:120