这款 4 圆衍射仪由组件 424 和 512.51 组成,提供了从残余应力和纹理测量到薄膜分析和晶圆研究的各种可能的应用。
集成在 Phi 圆中的是 XYZ 调整(150 毫米 x 150 毫米 x 25 毫米)。电源通过跳线环连接。
* 带步进电机,1000 步/转
** 使用转台 410A